[实用新型]一种蒸镀装置有效
| 申请号： | 202120041576.8 | 申请日： | 2021-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN214300322U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 刘高鹏;马中生;李流民;刘航;唐鹏宇;穆欣炬 | 申请（专利权）人： | 义乌清越光电科技有限公司;苏州清越光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 薛异荣 |
| 地址： | 322000 浙江省金华市义乌市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种蒸镀装置，包括：腔体；位于腔体内的蒸镀源；位于腔体内的样品载板，样品载板适于承载待蒸镀基板的边缘区域；位于腔体内的调温板，调温板设置于样品载板背离蒸镀源的一侧，调温板中具有间隔的加热管道和冷却管道，加热管道内部设置有加热件。调温板能够使具有较低最优成膜温度和较高最优成膜温度的功能薄膜均能在最优成膜温度沉积，提高了功能薄膜的薄膜质量，从而提高了半导体器件的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
【主权项】：
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