[实用新型]一种用于制备及检查晶圆抛光压力环的治具有效
| 申请号： | 202120091306.8 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN215240174U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 陆基益;郑伟;还胜钦;蔡雪良;李汉生;孙小兵;吕亚明 | 申请（专利权）人： | 昆山中辰矽晶有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06;B24B29/02;B24B49/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215316 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于制备及检查晶圆抛光压力环的治具，本装置包括一圆形底盘，在圆形底盘上标注刻度尺。本装置的圆形底盘用以放置需制备及检查的压力环，圆形底盘上的刻度尺用以精准检查压力环。本实用新型可以有效的改善，手工制作时，压力环上是否发生偏心的问题，使其定位更为精确。同时也可以用于检查使用过一段时间的压力环是否出现偏移的问题，从而减少硅晶片表面损伤，提高产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制备 检查 抛光 压力 | ||
【主权项】：
暂无信息
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