[实用新型]一种检测金属薄片装置有效
| 申请号： | 202120098046.7 | 申请日： | 2021-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN214361670U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 黄逸臻;张梦姿 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 徐剑兵;林祥翔 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种检测金属薄片装置，机械臂置于检测腔体一侧，用于抓取金属薄片；加热台置于检测腔体内；检测腔体的进气端上设置有进气阀门，检测腔体的出气端上设置有出气阀门；紫外灯设置于检测腔体顶部；CCD镜头置于检测腔体内，CCD镜头位于紫外灯的一侧；气体分析室置于检测腔体的一侧，气体分析室的进气端与出气阀门连通。通过加热台、CCD镜头和紫外灯的设置检测金属薄片上残留的有机材料，以确保金属薄片上的有机材料全部蒸镀完全；防止金属薄片在下次蒸镀时残余的有机材料会叠加上新蒸镀上的有机材料，同时防止再次蒸镀到基板上会影响成膜的厚度，导致器件的光电性能不佳，使用新的有机材料会产生交叉污染现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 金属 薄片 装置 | ||
【主权项】：
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