[实用新型]微机电传感器有效
| 申请号： | 202120101421.9 | 申请日： | 2021-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN214734496U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 汤小贾;汪应波 | 申请（专利权）人： | 广州市意芯微电子有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 常柯阳 |
| 地址： | 510535 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种微机电传感器，涉及传感器领域，包括微机电芯片、信号放大器、以及依次叠层安装的顶板、中层板和底板；所述微机电芯片和所述信号放大器安装在所述顶板的第一面，所述中层板为环状结构，所述顶板、所述中层板和所述底板组装时形成一个用于容纳所述微机电芯片、信号放大器的腔体，所述顶板上设有进音孔，所述微机电芯片的引脚和所述信号放大器引脚，通过所述顶板的印刷电路连接到中层板的导电柱，所述中层板的导电柱连接到所述底板的焊盘上，所述腔体的内壁覆盖有金属层。本实用新型可以改善器件的噪声性能。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 传感器 | ||
【主权项】：
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