[实用新型]阵列式矩形腔微波等离子发生器有效
| 申请号： | 202120104375.8 | 申请日： | 2021-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN213880372U | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 吉皓 | 申请（专利权）人： | 成都奋羽电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J37/32;C23C16/511 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 卿诚 |
| 地址： | 610000 四川省成都市天府*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了阵列式矩形腔微波等离子发生器，属于微波技术领域，第一辐射线组和第二辐射线组设在矩形腔外壳内；第一辐射线组和第二辐射线组均包括若干个辐射线；第一辐射线组的辐射线从矩形腔外壳的左侧壁向矩形腔外壳的右侧壁延伸；第二辐射线组的辐射线从矩形腔外壳的右侧壁向矩形腔外壳的左侧壁延伸；第一辐射线组的辐射线和第二辐射线组的辐射线依次交叉。本实用新型的阵列式矩形腔微波等离子发生器，腔体内场强分布均匀，气流流动均匀，具有温度监控、适时进行微波功率调整和气体流速调整的功能以及辐射线保护的功能，能够大面积产生等离子体，效率高、均匀性和稳定性好，方便观察内部放电情况。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 矩形 微波 等离子 发生器 | ||
【主权项】：
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