[实用新型]一种方便操作的高温磷酸腐蚀机用虹吸装置有效
申请号: | 202120125839.3 | 申请日: | 2021-01-18 |
公开(公告)号: | CN215234287U | 公开(公告)日: | 2021-12-21 |
发明(设计)人: | 李继忠;李述周;王冬莹 | 申请(专利权)人: | 江苏科沛达半导体科技有限公司 |
主分类号: | B01L3/00 | 分类号: | B01L3/00 |
代理公司: | 南京普睿益思知识产权代理事务所(普通合伙) 32475 | 代理人: | 杜朝霞 |
地址: | 221300 江苏省徐州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种方便操作的高温磷酸腐蚀机用虹吸装置,包括钢瓶,所述钢瓶的顶部设有通气管,通气管的一侧设有压力表,所述钢瓶的顶部外壁固定连接有计时器和处理器,所述钢瓶的顶部开设有插接孔,插接孔内设有压力传感器和温度传感器,所述通气管的一端设有电磁阀,通气管的一端设有处理管,处理管的另一端设有进液管,所述进液管的一侧设有出液管,所述出液管的一端设有固定管,固定管的另一端设有安装管,所述固定管的一侧设有阀门执行器。本实用新型可以快速地、便捷地对石英槽内的药液进行及时的转运,提高操作人员的作业效率,且能够对石英槽内的药液进行彻底的转运,提高资源的利用率。 | ||
搜索关键词: | 一种 方便 操作 高温 磷酸 腐蚀 虹吸 装置 | ||
【主权项】:
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