[实用新型]离子源水冷结构及离子源有效
| 申请号： | 202120141830.1 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN213936110U | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 刘伟基;冀鸣;吴秋生;赵刚;易洪波 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/14 | 分类号： | H01J27/14 |
| 代理公司： | 广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙) 44614 | 代理人： | 王园园 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种离子源水冷结构及离子源；所述离子源水冷结构包括：连接气体分配片的第一导热平台，连接离子源的阳极的第二导热平台；所述第一导热平台和第二导热平台通过绝缘隔离部件安装在离子源底座上；所述绝缘隔离部件与所述第一导热平台和第二导热平台的连接部位开设有冷却水路；所述气体分配片将热量传递至第一导热平台，所述离子源的阳极将热量传递至第二导热平台，所述冷却水路对所述第一导热平台和第二导热平台进行散热。该技术方案，实现了气体分配片和阳极独立水冷冷却，明显提升了离子源的水冷冷却效果；在维护时无需拆装冷却水路，降低了离子源维护复杂度。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 水冷 结构 | ||
【主权项】：
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