[实用新型]一种给圆柱形器件外表面镀膜的装置有效
| 申请号： | 202120141864.0 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN214383791U | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 冯娟娟;李训栓;郭党委;王心华 | 申请（专利权）人： | 兰州大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 西安瀚汇专利代理事务所(普通合伙) 61279 | 代理人： | 汪重庆 |
| 地址： | 730000 甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种给圆柱形器件外表面镀膜的装置，包括真空腔，所述真空腔的内部设有转动平台和加热模块，所述转动平台的上方设有旋转夹持件，所述旋转夹持件和转动平台均通过一个带传动机构连接有驱动组件，所述驱动组件和两个带传动机构均设置在传动室内，所述传动室位于真空腔的侧壁；通过设置转动平台，可在蒸发镀膜的过程中带动器件旋转，避免了进行多次镀膜，实现镀膜过程一次完成。且镀膜过程快、简化了圆柱形器件外表面的镀膜过程，可有效提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆柱形 器件 外表 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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