[实用新型]一种用于单晶硅片抛光用的承载台有效
| 申请号： | 202120153658.1 | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN215281566U | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 陈锋;沈国君;陆勇;刘太盛 | 申请（专利权）人： | 浙江众晶电子有限公司 |
| 主分类号： | B24D9/08 | 分类号： | B24D9/08;B24D9/10;B24B29/02 |
| 代理公司： | 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 | 代理人： | 钱磊 |
| 地址： | 324300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及单晶硅片技术领域，且公开了一种用于单晶硅片抛光用的承载台，包括承载台，所述承载台的顶部活动连接有底盘，所述底盘的侧表面固定套接有固定短管，所述底盘的顶部活动连接有抛光垫，所述抛光垫的顶部活动连接有压环，所述压环的顶部活动连接有环形胶圈，所述环形胶圈的顶部活动连接有环形固定盖。该用于单晶硅片抛光用的承载台，通过底盘、固定短管、抛光垫、压环、环形胶圈和环形固定盖之间的相互配合，可以先用压环将抛光垫套接在底盘上，此时抛光垫被绷紧，然后再用环形固定盖将压环固定，从而使抛光垫被固定在底盘上，达到了便于快速对抛光垫进行更换的效果，解决了现有的抛光垫更换不便的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单晶硅 抛光 承载 | ||
【主权项】：
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