[实用新型]一种导流盘安装治具有效
| 申请号： | 202120166150.5 | 申请日： | 2021-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN215093069U | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 郭丰雪 | 申请（专利权）人： | 泉芯集成电路制造（济南）有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 250101 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及干蚀刻机技术领域，具体公开了一种导流盘安装治具，该导流盘安装治具包括支撑架、定位组件与支撑部，其中，支撑架为环形；定位组件设于支撑架，定位组件被配置为当导流盘安装到上腔体基座时对导流盘进行定位；支撑部固设于支撑架，支撑部用于供使用者抓持以转移导流盘安装治具，支撑部还用于支撑导流盘安装治具。本实用新型的定位组件能够控制导流盘与上腔体基座之间的缝隙，在导流盘安装过程能够控制导流盘与上腔体基座之间各处的缝隙一致，确保了导流盘安装位置准确的同时，缩短了反复拆装校准时间，提高工作效率，在维修保养时，还能减少人员技术不同对安装质量的差异。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导流 安装 | ||
【主权项】：
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