[实用新型]一种单晶炉套筒装置和单晶炉有效
| 申请号： | 202120166296.X | 申请日： | 2021-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN215163293U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 杨文武;沈福哲;金珍根 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;胡影 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种单晶炉套筒装置和单晶炉，单晶炉套筒装置包括：套筒和桶形导流板，桶形导流板的底部开设有拉晶口，套筒设置于桶形导流板的内部，套筒包括导流筒和直壁筒，导流筒的上内壁面呈倒锥形，导流筒的下内壁面呈与直壁筒的外侧面相适配的圆柱形，直壁筒穿设于导流筒内与导流筒的下内壁面连接，直壁筒与拉晶口贯通。根据本实用新型实施例的单晶炉套筒装置，可以有效阻挡硅熔液飞溅到套筒和晶棒上，而沉积在石英材质的桶形导流板上的硅料可通过酸洗或者高温火焰喷烧进行去除，不影响下次拉晶，另外，也可以避免套筒上的杂质掉落到硅熔液中，还可以使惰性气体充分掠过硅熔液表面，及时带走一氧化硅气体，从而提高制得的单晶硅棒的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 套筒 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司，未经西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120166296.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种防潮油生产设备
- 下一篇：一种电子艾灸仪加热反馈组件
