[实用新型]一种样品托、样品托组件及等离子体化学气相沉积设备

摘要

本实用新型提供了一种样品托、样品托组件及等离子化学气相沉积设备，属于等离子体设备领域。样品托组件包括基底及样品托，基体上设置有安装凹槽，样品托固定设置在安装凹槽中。上述样品托包括一体成型的样品托本体及导热凸台，导热凸台设置在样品托本体的底面。使用时，导热凸台与基底直接或间接接触。由于样品托中心温度高于边缘温度，而样品托中心的热量可以通过导热凸台传递到基底上，进而提高样品托的温度均匀性，提高固态膜的品质。