[实用新型]一种物理气相沉积设备有效
| 申请号： | 202120208301.9 | 申请日： | 2021-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN214271025U | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 薛异荣 |
| 地址： | 242074 安徽省宣城市经济*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种物理气相沉积设备，包括：沉积腔室和电机；工艺编辑模块，工艺编辑模块包括工艺数据存储单元和工艺匹配单元；工艺数据存储单元存储第一类型数据和第二类型数据，第一类型数据包括沉积速率数据、以及与沉积速率数据对应的沉积条件数据，第二类型数据包括膜厚与沉积速率和电机运行速度之间对应的数据；工艺匹配单元适于输入待沉积膜厚信息，工艺匹配单元适于为待沉积膜厚信息匹配特征沉积速率、特征沉积条件和电机特征运行速度；工艺编辑模块适于将匹配好的特征沉积速率和特征沉积条件传输给所述沉积腔室，工艺编辑模块还适于将匹配好的电机特征运行速度传输给所述电机。所述物理气相沉积设备实现了工艺设计的智能化和自动调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物理 沉积 设备 | ||
【主权项】：
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