[实用新型]晶圆升降装置及晶圆传送系统

摘要

本实用新型提供了一种晶圆升降装置及晶圆传送系统，所述晶圆升降装置包括静电卡盘及位于所述静电卡盘下方的多个升降组件，所述静电卡盘上放置有一晶圆，每个所述升降组件均包括驱动单元、位移监测单元及顶针，所述驱动单元与所述顶针连接并驱动所述顶针上升或下降以顶起或远离所述晶圆，所述位移监测单元位于所述驱动单元上，并用于监测所述顶针上升或下降的高度并反馈给所述驱动单元。通过设置位移监测单元对每个顶针的高度进行实时监测并控制驱动单元的启停，进而控制顶针的高度，保证所述顶针与晶圆之间的间距合适，避免了晶圆上累积的电荷在该顶针区域局部放电起辉造成尖端放电，从而降低晶圆遭受缺陷的风险。