[实用新型]采用气动旋转的等离子体处理装置有效
| 申请号： | 202120222920.3 | 申请日： | 2021-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN214477323U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 徐江霖 | 申请（专利权）人： | 广东震仪智能装备股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 深圳市德锦知识产权代理有限公司 44352 | 代理人： | 陈永晔 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种采用气动旋转的等离子体处理装置，其特征在于，包括具有第一腔室的壳体和中空转轴，壳体上设有连通第一腔室且同轴设置的第一轴孔和第二轴孔，中空转轴定位在第一轴孔和第二轴孔上旋转，中空转轴的外侧设有轴环部，轴环部上设有沿中空转轴的轴线方向呈圆周对称的多个叶片槽，叶片槽内设有活动的叶片，轴环部位于在第一腔室中旋转；壳体上设有连通第一腔室的进气孔与出气孔，在第一腔室中设有套设在轴环部外围的内壳，内壳的内侧壁圆周面与轴环部的外侧壁圆周面呈偏心设置，内壳与轴环部之间形成气流通道，气流通道的两端分别连通进气孔与出气孔；中空转轴的输出端连接套筒，套筒上安装有喷嘴。通过高压的压缩气体来驱动喷嘴进行旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 气动 旋转 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
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