[实用新型]用于电子级六氟化硫制备的水气自动化分离排放装置有效
| 申请号： | 202120248502.1 | 申请日： | 2021-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN214862246U | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 刘志强;林德荣;罗浩;张朝春;邱玲;张国聪 | 申请（专利权）人： | 福建德尔科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/00 | 分类号： | B01D50/00;B01D45/12;B01D53/26;C01B17/45 |
| 代理公司： | 厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101 | 代理人： | 徐东峰 |
| 地址： | 364000 福建省龙岩*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于电子级六氟化硫制备的水气自动化分离排放装置，其特征在于，包括顺序连接的气泵(15)、水气分离器(16)、旋风分离器(17)以及冷干机(18)；所述水气分离器(16)的排水管高于所述水气分离器(16)的底部设置以形成水封；所述旋风分离器(17)以及所述冷干机(18)设置于所述水气分离器(16)顶部，且所述旋风分离器(17)的排水管(171)以及所述冷干机(18)的排水管(181)均延伸到所述水气分离器(16)的水封内，以实现所述水气分离器(16)、所述旋风分离器(17)以及所述冷干机(18)的自动化排水。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电子 六氟化硫 制备 水气 自动化 分离 排放 装置 | ||
【主权项】：
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