[实用新型]一种用于立式炉的传片系统

摘要

本实用新型公开了一种用于立式炉的传片系统，包括片盒上下料室、缓存片库室、工艺室和传片机械手，片盒上下料室与缓存片库室对接且二者之间设有可连通和隔断的后门，片盒上下料室于后门的前方设有前门，所述缓存片库室与工艺室对接，片盒上下料室内设有承载台，缓存片库室内设有至少一个载片架，工艺室内设有舟架，传片机械手活动于载片架与舟架之间。本实用新型通过设置在片盒上下料室前后两侧设置前门和后门，使得片盒到达片盒上下料室的承载台后，关闭前门和后门，可对封闭在片盒上下料室内的晶片进行清洗工艺，之后再通过传片机械手进行传片的动作，代替人工手动装卸片，具有自动化程度高，能提高生产效率的优点。