[实用新型]新型真空镀膜控制装置有效
申请号: | 202120257769.7 | 申请日: | 2021-01-29 |
公开(公告)号: | CN214300323U | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 唐英;汪曙新;刘扬 | 申请(专利权)人: | 深圳市联生佳科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/52;C23C14/54 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市坪*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了新型真空镀膜控制装置,包括箱体,箱体顶端的中部固定安装有转动电机,转动电机的输出轴固定设有第一锥形齿轮,箱体的内部设有传动组件,传动组件包括第一传动杆和两个固定杆,两个固定杆均设置在第一传动杆的底部,第一传动杆的两端分别与箱体内壁两侧的顶部转动连接,本实用新型的有益效果是:通过设有转动电机和传动组件,转动电机转动通过第一锥形齿轮与第二锥形齿轮的啮合,两个第三锥形齿轮与两个第四锥形齿轮的啮合,两个第五锥形齿轮与两个第六锥形齿轮的啮合从而带动夹持组件上的基片进行翻面,对其另一面进行镀膜,提高了镀膜的工作效率,通过设有观察窗可以观察箱体内部基片的镀膜情况。 | ||
搜索关键词: | 新型 真空镀膜 控制 装置 | ||
【主权项】:
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