[实用新型]一种三氯氢硅的尾气处理装置

摘要

本实用新型属于尾气处理领域，特别涉及一种三氯氢硅的尾气处理装置，旋风除尘器进气口连接尾气管道，旋风除尘器出气口经换热器连接至光催化反应器，出料口连接至硅粉回收罐，光催化反应器出气口连接至吸收塔，吸收塔设有第一喷淋器，酸罐通过第一循环泵连接第一喷淋器，吸收塔出液口连接至酸罐，吸收塔出气口连接至碱洗塔，碱洗塔设有第二喷淋器，碱罐通过第二循环泵连接第二喷淋器，碱洗塔出液口连接至碱罐，碱洗塔出气口连接至水洗塔，水洗塔设有第三喷淋器，第三喷淋器的进水口连接喷淋水管网，水洗塔底部出水口连接至污水管网，水洗塔顶部设有排空管。该尾气处理装置能够回收尾气余热及可再利用组分，节能环保，提高了能源及原料利用率。