[实用新型]高温液体喷洒系统有效
| 申请号： | 202120279117.3 | 申请日： | 2021-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN213934652U | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 王升龙;彭奕诚 | 申请（专利权）人： | 全智新系统科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D25/02 | 分类号： | G05D25/02;G01D21/02;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;曹娜 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种高温液体喷洒系统，包括储存槽、输出管线、冷却管线及控制器。储存槽用以容纳液体。输出管线包括主管体、泵浦、加热器以及喷嘴开关控制阀，主管体的两端连接储存槽及喷嘴，泵浦、加热器及喷嘴开关控制阀设置于主管体。冷却管线包括支管体及冷却器，支管体两端连接储存槽及加热器与喷嘴开关控制阀之间的输出管线，冷却器设置于支管体。控制器电性连接输出管线及冷却管线。因此，本实用新型通过冷却管线的结构使泵浦及加热器可维持固定的输出功率稳定运作，确保液体在进行清洗作业时的温度稳定，提升基板的清洁效果及整体的制程质量。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 液体 喷洒 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于全智新系统科技股份有限公司，未经全智新系统科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120279117.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种四线模拟手机推送盒子
- 下一篇：总线制两线多户型门口机
