[实用新型]一种光刻机投影物镜的温度控制装置有效
| 申请号： | 202120282756.5 | 申请日： | 2021-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN213957835U | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 冯艳 | 申请（专利权）人： | 冯艳 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻机投影物镜的温度控制装置，包括投影物镜本体，所述投影物镜本体的上表面边缘处设置有第一环形夹板，所述第一环形夹板的下表面一侧边缘处安装有第一胶垫，所述第一环形夹板的一侧外壁上安装有第一连接板，所述投影物镜本体的下表面边缘处设置有第二环形夹板，所述第二环形夹板的上表面边缘处设置有第二胶垫，所述第二环形夹板的一侧外壁上设置有第二连接板，所述第一连接板的外壁上设置有第二螺纹孔。本实用新型有效加强了投影物镜的稳定性，避免投影物镜因为外界因素导致偏移，便于安装拆卸，提高工作人员的便捷性，可以对投影物镜进行均匀的温度调节，保证成像质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 投影 物镜 温度 控制 装置 | ||
【主权项】：
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