[实用新型]图像采集组件和对准系统

摘要

本实用新型提供了一种图像采集组件，包括相对设置的边缘图像采集部和特征标记图像采集部。相对设置的边缘图像采集部和特征标记图像采集部有利于后续同时采集所述两个基板的边缘位置信息和特征标记位置信息来参考实现对准；所述边缘图像采集部和所述特征标记图像采集部均具有相同的取像单元，所述取像单元包括共轴设置的图像反射件、图像传输件和取像件，进一步确保了所传输图像的清晰度，有利于在键合前实现不同基板的快速准确对准。本实用新型还提供了包括所述图像采集组件的对准系统。