[实用新型]升降销固定器、升降销组件及等离子体处理装置有效
| 申请号： | 202120294422.X | 申请日： | 2021-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN213905289U | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 蔡楚洋;左涛涛 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/32;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 徐雯琼;张静洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种升降销的固定器、升降销组件及等离子体处理装置，包括主体、瓣状件和第一紧箍件，实现升降销的插入空间的内部直径可弹性变化以适应升降销的活动调节，并且结合紧箍件对瓣状件的束缚，起到对升降销稳定夹持的作用，在瓣状件上还设置有凹痕，用于固定紧箍件的位置，防止紧箍件的滑动造成束缚程度的波动，在瓣状件外侧设置多个紧箍件用于加强束缚效果，此外，在分割瓣状件的槽下部设置有缓冲孔，提高瓣状件的弹性，同时可用于插入空间的抽真空。 | ||
| 搜索关键词： | 升降 固定器 组件 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
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