[实用新型]一种晶体生长装置有效
申请号: | 202120299367.3 | 申请日: | 2021-02-03 |
公开(公告)号: | CN214458434U | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 史艳磊;孙聂枫;王书杰;刘惠生;孙同年;付莉杰;赵红飞;李亚旗;邵会民;康永;张晓丹;张鑫;姜剑;王阳;李晓岚;薛静 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/20 |
代理公司: | 石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙) 13123 | 代理人: | 聂旭中 |
地址: | 050000 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 一种晶体生长装置,涉及晶体制备领域,尤其涉及使用提拉法制备低应力、低缺陷晶体的装置。包括炉体,置于炉体底部的坩埚及加热保温系统,晶体提拉机构,石英观察窗,所述装置还包括可升降式加热罩机构,包括加热罩体、加热罩支撑部件、设置在加热罩体四周的加热丝、加热罩升降机构。采用本装置,可以降低晶体生长过程中、以及晶体提起后降温过程中晶体内的应力,降低缺陷,避免晶体开裂,同时保持熔体内的温度梯度,保证晶体生长过程稳定,从而保证晶体成品率。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 装置 | ||
【主权项】:
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