[实用新型]一种安装环件的辅助治具有效
| 申请号： | 202120315071.6 | 申请日： | 2021-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN214686119U | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;冯周瑜;杨广 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种安装环件的辅助治具，所述安装环件的辅助治具包括中心环、顶持件和卡件；所述顶持件为凸型结构包括凸端和底端，所述凸端的顶部和所述中心环的侧面连接，所述底端的底面与环件内侧面相接触；所述卡件为U型结构，所述U型结构的长端的外宽面和所述中心环的侧面连接，另一个U型结构的长端的内宽面设置有凸台，所述凸台的凸台面和所述环件的外侧面相接触；所述顶持件至少设置2个；所述卡件至少设置4个。可以实现环件的精确安装，保证环件不会发生变形及安装不稳定造成的偏心问题，避免了环件安装不恰当导致的溅射不稳定的问题，避免了晶圆的浪费，提高了晶圆溅射中的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 安装 辅助 | ||
【主权项】：
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