[实用新型]一种改善真空计防污染装置有效
| 申请号： | 202120324830.5 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN214736044U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 傅强;张宁;张冬根 | 申请（专利权）人： | 上海帝越电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 上海乐泓专利代理事务所(普通合伙) 31385 | 代理人： | 苏杰 |
| 地址： | 200000 上海市奉贤*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体公开了一种改善真空计防污染装置，包括NW90°弯头，所述NW90°弯头的转换角度为90度，所述NW90°弯头下方设有真空腔室，所述真空腔室上方设有真空腔室NW‑VCR转换接头，所述真空腔室NW‑VCR转换接头顶端与所述NW90°弯头之间设有滤网支架，所述NW90°弯头右端设有真空计，所述真空计与所述NW90°弯头之间设有真空计NW‑VCR转换接头，所述真空计NW‑VCR转换接头与所述NW90°弯头之间设有滤网支架。本实用新型通过两个滤网支架构成双滤网结构，双滤网结构的保证下可以改善真空计内部环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 真空计 污染 装置 | ||
【主权项】：
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