[实用新型]通过电子束蒸发在部件上沉积保护涂层的设备有效
| 申请号： | 202120339462.1 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN214937772U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | K·Y·雅科夫乔克;V·O·巴尔斯科夫;Y·E·鲁道义;A·V·麦克特奇克 | 申请（专利权）人： | 乌克兰国家科学院巴顿焊接研究所电子束技术国际中心 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 权鲜枝 |
| 地址： | 乌克*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及通过电子束蒸发在部件上沉积保护涂层的设备，所述设备包括具有半圆柱形热罩的真空室、至少一个带有蒸发材料的水冷坩埚、用于辐射加热所述部件的加热器和电子枪。热罩、带有蒸发材料的水冷坩埚和加热器构成所述真空室内的涂层沉积区。所述设备还具有可移动挡板，该挡板能够移动至所述涂层沉积区中，以屏蔽所述部件表面和所述热罩的内表面使其不受所述加热器和蒸发材料的表面的影响。所提出的设计在蒸发过程开始时保护所述部件表面，不使不良杂质和微滴进入，并且还保护加热器和蒸发材料的表面，不使冷凝碎片进入。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 电子束 蒸发 部件 沉积 保护 涂层 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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