[实用新型]一种晶圆盒有效
申请号: | 202120339533.8 | 申请日: | 2021-02-05 |
公开(公告)号: | CN214932467U | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 蔡长辉;林志东;陈敏睿;洪新燕;邹龙生 | 申请(专利权)人: | 厦门市三安集成电路有限公司 |
主分类号: | B65D85/30 | 分类号: | B65D85/30 |
代理公司: | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人: | 连耀忠;叶碎银 |
地址: | 361000 福建省厦门*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶圆盒,包括用于立置晶圆片的盒体,该盒体上下贯通,且该盒体具有相对的第一侧壁和第二侧壁,第一侧壁内侧面设有多个第一置片槽,第二侧壁内侧面设有多个第二置片槽,第一置片槽与第二置片槽一一对应,以插置晶圆片;盒体上设置立式挡板,该挡板位于第一侧壁和第二侧壁之间,各第一置片槽、各第二置片槽位于该挡板的同一侧;该挡板顶端高于置于盒体内的晶圆片的顶端。本实用新型能够在工作人员将晶圆盒倾斜抱入设备内时,利用挡板对盒体内的晶圆片进行防护,避免晶圆片与设备发生碰撞导致破片,从而有利于降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶圆盒 | ||
【主权项】:
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