[实用新型]一种芯片焊接装置有效
申请号: | 202120342170.3 | 申请日: | 2021-02-05 |
公开(公告)号: | CN214313167U | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 卫明墅 | 申请(专利权)人: | 苏州禾立基电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H05K9/00 |
代理公司: | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人: | 刘颖 |
地址: | 215168 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种芯片焊接装置,包括承载台,传送装置以及焊臂机台,承载台上设置有蓝膜,蓝膜上设置有摆放工位,传送装置包括传送电机、传送辊轴以及传送带,传送带上设置有焊接工位,焊臂机台上设置有直线电机,直线电机上连接有焊臂的一端,焊臂另一端部设有橡胶吸嘴,承载台上还设置有至少一个除静电装置,且承载台内设置有转动驱动装置,转动驱动装置与除静电装置相连,并能够带动除静电装置在承载台上转动。本申请承载台的上设有离子风机,通过离子风机向吸片位输送平衡正负离子,能够在橡胶吸嘴快速触及芯片表面,以及芯片被橡胶吸嘴剥离蓝膜的瞬间,防止高压静电的产生,有效的避免了微电子封装时在芯片焊接工序遭受可能的静电损伤。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 焊接 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造