[实用新型]一种膜切割结构及贴膜装置有效
| 申请号： | 202120349626.9 | 申请日： | 2021-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN214827810U | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 施心星 | 申请（专利权）人： | 苏州镭明激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B65H35/06 | 分类号： | B65H35/06;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京恒博知识产权代理有限公司 11528 | 代理人： | 范胜祥 |
| 地址： | 215123 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种膜切割结构及贴膜装置，膜切割结构包括贴膜台、压膜组件和切膜组件，贴膜装置的第一抓料组件用于抓取支撑环放于晶圆外围，通过膜切割结构的贴膜组件将粘接膜贴附并裁切于晶圆和支撑环上。在晶圆外围同轴设置支撑环，支撑环可为贴膜后的晶圆提供支撑，便于晶圆的转运以及转运过程中的稳定性。控制膜切割结构的旋转驱动件带动切刀旋转，并使切刀与粘接膜接触，可裁切出圆心与晶圆中心轴重叠的圆形粘接膜，裁切方式和裁切结构简单，适用性高，便于提高晶圆加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割 结构 装置 | ||
【主权项】：
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