[实用新型]一种真空喷涂装置的靶材进出机构有效
| 申请号： | 202120367405.4 | 申请日： | 2021-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN216173388U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 余成有 | 申请（专利权）人： | 厦门佰顺兴自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05B16/20 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 蔡金塔 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市同*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空喷涂装置的靶材进出机构，所述真空喷涂装置包括机架和固定安装在所述机架上的卧式真空筒体，其特征在于：所述靶材进出机构包括靶材转动行走组件和进出料组件，所述靶材转动行走组件部分安装在所述机架上和部分安装在所述卧式真空筒体中，用于驱动固定在其靶材安装管上的靶材在所述卧式真空筒体内行走和转动；所述进出料组件可移动布置在所述卧式真空筒体的进出料口一侧，用于与所述靶材转动行走机构配合实现自动将靶材移动到所述卧式真空筒体中和从所述卧式真空筒体移出。本实用新型能够实现在筒体外安装和拆卸靶材，大大降低了工人的劳动强度，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 喷涂 装置 进出 机构 | ||
【主权项】：
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