[实用新型]卡盘有效
| 申请号： | 202120373305.2 | 申请日： | 2021-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN214732462U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 许璐;赵宏宇 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/74 | 分类号： | B65G47/74 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 施敬勃 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种卡盘，其包括基体；安装于所述基体上的转动件和多个偏心夹持件；多个所述偏心夹持件围绕所述转动件设置且与所述转动件传动连接，多个所述偏心夹持件用于夹持半导体被加工件；可调连接件，所述转动件通过所述可调连接件与所述基体连接，所述可调连接件具有多个限位状态，在所述可调连接件处于不同的所述限位状态的情况下，多个所述偏心夹持件对所述半导体被加工件的夹持力不同。上述技术方案提供的卡盘可以向半导体被加工件提供不同的夹持力，进而在清洗不同材质的半导体被加工件时，无需更换卡盘，可以提升清洗效率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 卡盘 | ||
【主权项】：
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