[实用新型]一种用于非标晶圆的载盘有效
| 申请号： | 202120380456.0 | 申请日： | 2021-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN214361664U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 张强 | 申请（专利权）人： | 上海悦匠实业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201600 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于非标晶圆的载盘，包括托盘主体，托盘主体固定在溅射台上，托盘主体上开设有与非标晶圆的直径相匹配的凹槽，凹槽的底部开设有多个通气孔，凹槽内用于放置非标晶圆，托盘主体上沿着凹槽上边沿圆周方向固定有多个用于压住非标晶圆的表面的压固机构。首先在托盘主体上开出非标晶圆大小的凹槽，实现非标晶圆易于放置于托盘主体上，再在凹槽处均匀的开设通气孔，方便背部的氩气可以从溅射台直接接触到非标晶圆，最后通过压固机构使非标晶圆固定在托盘主体上，使其无法竖直方向上移动，最终可以实现在应用材料5500溅射台上对非标工件低温工艺的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 非标 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海悦匠实业有限公司，未经上海悦匠实业有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120380456.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种塔式起重机用卷筒
- 下一篇：一种用于降低非标晶圆温度的载盘
- 同类专利
- 专利分类
