[实用新型]晶圆盒搬运机器人有效
| 申请号： | 202120380916.X | 申请日： | 2021-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN215037510U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 黄宗勇;丁凯旋;杨超 | 申请（专利权）人： | 深圳优艾智合机器人科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00 |
| 代理公司： | 深圳市力道知识产权代理事务所(普通合伙) 44507 | 代理人： | 何姣 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型适用晶圆盒搬运设备领域，公开一种晶圆盒搬运机器人，包括自动导引车和搬运执行机构，搬运执行机构包括主座体、安装于主座体上的机械臂和与机械臂连接用于夹持晶圆盒的夹持装置，主座体上设有至少一个用于承载晶圆盒的卡槽和至少一个分别用于检测各卡槽内是否装载有晶圆盒的检测装置，卡槽具有用于支撑晶圆盒的槽底壁和凸设于槽底壁之边缘以用于对晶圆盒限位的槽侧壁，检测装置包括嵌设于槽底壁上以用于探测槽底壁上是否支撑有晶圆盒的第一探测器和设于槽侧壁上以用于探测卡槽内是否装载有晶圆盒的第二探测器。本实用新型提供的晶圆盒搬运机器人在其中任意一个探测器发生故障时仍能正常工作，充分保障了晶圆盒搬运机器人的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆盒 搬运 机器人 | ||
【主权项】：
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