[实用新型]一种镀膜蒸发辅助装置及镀膜设备有效
| 申请号： | 202120385462.5 | 申请日： | 2021-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN214572196U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 原清海;王奔;谢雨江;林兆文 | 申请（专利权）人： | 上海米蜂激光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人： | 李思琼;冯振华 |
| 地址： | 200136 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种镀膜蒸发辅助装置及镀膜设备，该装置包括：设置在所述镀膜设备蒸发源正上方的同心圆环板，所述同心圆环板由包括多个半径依次增大的圆环同圆心固定连接形成；其中，从所述同心圆环板的内圈至外圈，相邻所述圆环的半径差依次减小。该装置使得镀膜真空室内不需要使用补偿挡板，蒸发出来的膜料通过该辅助装置后，能够平行蒸镀到基板上，有效提高膜厚均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 蒸发 辅助 装置 设备 | ||
【主权项】：
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