[实用新型]一种开管扩散炉炉帽提醒装置有效
| 申请号： | 202120388241.3 | 申请日： | 2021-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN214620690U | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 丁飞;陈建标;杨芳 | 申请（专利权）人： | 江苏新顺微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F27D21/04 | 分类号： | F27D21/04;H01L21/67;H01L21/22 |
| 代理公司： | 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 | 代理人： | 孙燕波 |
| 地址： | 214400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种开管扩散炉炉帽提醒装置，属于半导体制造技术领域。包括用于放置炉帽的放置台，所述放置台底部设置重力传感器，所述重力传感器与声光报警器信号连接；所述开管扩散炉外侧设有导轨，所述导轨上设置计时传感器和位置传感器，所述位置传感器设于计时传感器外侧；所述导轨上活动设有石英勾，所述石英勾能够向扩散炉靠近而依次触发计时传感器和位置传感器，或向开管扩散炉远离；所述计时传感器和位置传感器与声光报警器信号连接；同时触发所述计时传感器、位置传感器和重力传感器且计时传感器到达计时时间时，满足声光报警器触发条件。本申请不仅能够发出声光报警，提醒作业人员；而且能够暂停工艺作业，避免造成工艺偏差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 炉炉帽 提醒 装置 | ||
【主权项】：
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