[实用新型]一种橡胶表面沉积DLC涂层的射频耦合磁控溅射装置有效
| 申请号： | 202120399660.7 | 申请日： | 2021-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN214361654U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 许建平;陈晶;许红;于久灏;王威;王景旭 | 申请（专利权）人： | 黑龙江省海振科技有限公司;黑龙江工程学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150050 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种橡胶表面沉积DLC涂层的射频耦合磁控溅射装置。本实用新型为了解决现有橡胶表面改性和制备DLC涂层时存在橡胶表面改性所需等离子体密度低、膜基结合强度低和沉积效率较低等问题。本实用新型包括上电极板、磁控靶、栅网、工件、反应气体、惰性气体、射频电源、磁控电源、偏压电源、真空腔室、真空泵组、下电极板等，所述工件(4)位于栅网(3)内，所述上电极板(1)和下电极板(12)联通并且位于磁控靶(2)和栅网(3)之间。本实用新型属于真空物理气相沉积领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 橡胶 表面 沉积 dlc 涂层 射频 耦合 磁控溅射 装置 | ||
【主权项】：
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