[实用新型]一种硅片移栽设备

摘要

本发明创造提供了一种硅片移栽设备，包括机架、机械手、笼型夹爪，笼型夹爪包括固定板、通过第一驱动组件安装在固定板上的第一夹爪、通过第二驱动组件安装在固定板上的第二夹爪；第一驱动组件安装在固定板上方，两组第一夹爪通过第一驱动组件驱动向相反方向运动；两组第二夹爪通过第二驱动组件驱动向相反方向运动，两组第一夹爪与两组第二夹爪的运行方向相交实现四周夹紧。本发明创造所述的一种硅片移栽设备，移栽机械手伸入到料框内，进行捞取动作；移栽机械手的夹爪为笼型，两组第一夹爪、两组第二夹爪配合夹取防止硅片进行倾斜，两组第一夹爪下侧托板托住硅片底部，此结构在运输硅片中对夹取的硅片起到了稳定性效果，对硅片起到了更好的保护。