[实用新型]一种多梯度的长晶实验装置有效
申请号: | 202120409763.7 | 申请日: | 2021-02-24 |
公开(公告)号: | CN214327964U | 公开(公告)日: | 2021-10-01 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00 |
代理公司: | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人: | 韩立岩 |
地址: | 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种多梯度的长晶实验装置,属于晶体实验技术领域。解决的是单次实验无法验证多个不同位置的长晶情况,效率低,需多次重复实验的问题。包括坩埚、长晶料、小晶片、晶片托架、加热器和人字型支架,坩埚的下部装有长晶料,坩埚位于加热器内侧,人字型支架位于长晶料上侧且人字型支架与坩埚连接,人字型支架为阶梯型架,人字型支架的阶梯与晶片托架铰接,晶片托架的下部连接小晶片。在单次实验中就可得到几种梯度下的实验结果,根据结果可得到大量的实验数据,根据不同的结论,确定位置对晶体生长的影响,减少实验次数,提高实验效率,便于拆卸、清理,操作简单方便。 | ||
搜索关键词: | 一种 梯度 实验 装置 | ||
【主权项】:
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