[实用新型]气相沉积炉

摘要

本申请提出了一种气相沉积炉。该气相沉积炉包括炉管、下管板和填料密封结构。所述炉管穿过所述下管板，所述炉管和所述下管板通过所述填料密封结构形成密封。所述填料密封结构包括填料、管座、压盖和支耳结构。所述管座固定连接于所述下管板，所述支耳结构包括螺母、连接板和螺杆，所述连接板固定连接于所述压盖，所述螺杆能够穿过所述连接板，所述螺杆的一端固定连接于所述下管板，所述螺杆和所述螺母通过螺纹配合连接，通过所述螺母能够限制所述连接板在所述螺杆的轴向上的位置。