[实用新型]氧化镓晶片退火处理装置

摘要

本实用新型公开了氧化镓晶片退火处理装置，属于氧化镓晶片退火处理领域。氧化镓晶片退火处理装置，包括底座，限位杆侧壁连接有移动机构，移动机构包括驱动电机，驱动电机固定连接在限位杆侧壁，驱动电机输出端连接有连接杆，连接杆侧壁转动连接有第一转轴，第一转轴侧壁转动连接有连杆，连杆远离第一转轴的一端转动连接有第二转轴，第二转轴外壁转动连接有驱动块，驱动块侧壁连接有支撑圆盘，支撑圆盘底部连接有夹持机构，夹持机构加持端与晶片相配合；本实用新型通过夹持机构和移动机构相配，合实现夹取释放功能，可使夹持机构在夹取高度和夹取位置可进行调节，提高移动效率，可根据不同环境进行移动设定，减少移动时间，提高品控。