[实用新型]一种靶材清洗烘干装置有效

专利信息
申请号: 202120460802.6 申请日: 2021-03-03
公开(公告)号: CN214488114U 公开(公告)日: 2021-10-26
发明(设计)人: 念雯雯;李帅方;李金龙;毛会艳 申请(专利权)人: 洛阳丰联科绑定技术有限公司
主分类号: B08B3/12 分类号: B08B3/12;B08B13/00;F26B9/06;F26B5/08;F26B5/04
代理公司: 郑州知己知识产权代理有限公司 41132 代理人: 杨小燕
地址: 471100 河南省*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型提供了一种靶材清洗烘干装置,包括支撑腿、箱体和设置在箱体上方的箱盖,所述箱体固定设置在支撑腿上,所述箱体底部一侧设置排水管,所述箱体底部设置烘干板,所述箱体内部两侧靠近箱体底部的位置设置防水超声振子,所述箱体内部放置靶材放置架,所述箱盖上方两侧设置两个进水口,所述两个进水口中间位置设置真空抽气机,所述真空抽气机通过抽气管与箱体内部相连通。本实用新型使靶材一次完成清洗烘干,消除靶材在清洗干燥过程中因转移碰撞造成的残次品,缩小设备占用空间,节省设备成本,简化工艺流程,且经过干燥后的靶材产品表面不会残留任何痕迹,清洁度高,烘干加热时间短,工作效率高。
搜索关键词: 一种 清洗 烘干 装置
【主权项】:
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