[实用新型]曝光旋转台治具有效

专利信息
申请号: 202120467573.0 申请日: 2021-03-04
公开(公告)号: CN214375820U 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 胡伊特;胡伊达;张彭春;胡步浩;李旭孟;郑安龙 申请(专利权)人: 欣灵电气股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 代理人: 孙晓林
地址: 325600 浙江省温*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 本实用涉及一种曝光旋转台治具,包括底座、设置于底座上的平行的导轨,以及在导轨上滑行并可移置于工装底座正上方的支架,支架的上面板设有第一紫外线发射器,支架的一端侧面板设有第二紫外线发射器,工装底座的下方设置直流电机,直流电机的输出轴经联轴器与工件的转轴连接。与现有技术相比,本发明创造的有益技术效果在于:1、支架的可移动设置,一则可将支架移置于工装底座的正上方开始曝光操作,二则可将支架移开,整体地露出工装底座,便于工件的取放;2、在工件的正上方和一侧分别设置紫外线发射器,工件在直流电机的带动下旋转,使得工件的上方、周沿面能够均匀地受到紫外线的照射,大大地改善了固化效果。
搜索关键词: 曝光 旋转 台治具
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