[实用新型]曝光旋转台治具有效
申请号: | 202120467573.0 | 申请日: | 2021-03-04 |
公开(公告)号: | CN214375820U | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 胡伊特;胡伊达;张彭春;胡步浩;李旭孟;郑安龙 | 申请(专利权)人: | 欣灵电气股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人: | 孙晓林 |
地址: | 325600 浙江省温*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用涉及一种曝光旋转台治具,包括底座、设置于底座上的平行的导轨,以及在导轨上滑行并可移置于工装底座正上方的支架,支架的上面板设有第一紫外线发射器,支架的一端侧面板设有第二紫外线发射器,工装底座的下方设置直流电机,直流电机的输出轴经联轴器与工件的转轴连接。与现有技术相比,本发明创造的有益技术效果在于:1、支架的可移动设置,一则可将支架移置于工装底座的正上方开始曝光操作,二则可将支架移开,整体地露出工装底座,便于工件的取放;2、在工件的正上方和一侧分别设置紫外线发射器,工件在直流电机的带动下旋转,使得工件的上方、周沿面能够均匀地受到紫外线的照射,大大地改善了固化效果。 | ||
搜索关键词: | 曝光 旋转 台治具 | ||
【主权项】:
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