[实用新型]一种同质结薄膜气体传感器有效
申请号: | 202120474686.3 | 申请日: | 2021-03-05 |
公开(公告)号: | CN215339630U | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
发明(设计)人: | 赵新为 | 申请(专利权)人: | 南京智慧基础设施技术研究院有限公司 |
主分类号: | G01N27/414 | 分类号: | G01N27/414 |
代理公司: | 南京华恒专利代理事务所(普通合伙) 32335 | 代理人: | 裴素艳 |
地址: | 210012 江苏省南京*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本实用新型公开的一种同质结薄膜气体传感器,包括从下至上依次设置的基板、pn同质结氧化锌薄膜、电极层、气敏层,所述pn同质结氧化锌薄膜包括n型半导体薄膜以及形成在n型半导体薄膜顶部的p型半导体薄膜。本实用新型能够实现在室温下对CO、C |
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搜索关键词: | 一种 同质 薄膜 气体 传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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