[实用新型]一种同质结薄膜气体传感器有效

专利信息
申请号: 202120474686.3 申请日: 2021-03-05
公开(公告)号: CN215339630U 公开(公告)日: 2021-12-28
发明(设计)人: 赵新为 申请(专利权)人: 南京智慧基础设施技术研究院有限公司
主分类号: G01N27/414 分类号: G01N27/414
代理公司: 南京华恒专利代理事务所(普通合伙) 32335 代理人: 裴素艳
地址: 210012 江苏省南京*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开的一种同质结薄膜气体传感器,包括从下至上依次设置的基板、pn同质结氧化锌薄膜、电极层、气敏层,所述pn同质结氧化锌薄膜包括n型半导体薄膜以及形成在n型半导体薄膜顶部的p型半导体薄膜。本实用新型能够实现在室温下对CO、C2H5OH、H2、NO2等气体的有效检测,弥补类似产品中pn结薄膜在生产和应用中出现不稳定而导致的传感性能急剧下降的致命缺陷。
搜索关键词: 一种 同质 薄膜 气体 传感器
【主权项】:
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