[实用新型]一种溅镀空间可调的溅镀机

摘要

本实用新型公开了一种溅镀空间可调的溅镀机，溅镀仓，所述溅镀仓的一侧连接有溅镀气体入口，所述溅镀仓的另一侧连接有抽真空排气口，所述溅镀仓顶部的下端面上连接有阳极电极，所述溅镀仓底部的下端面上连接有阴极电极，所述阴极电极的底部连接有安装板，所述安装板的下端面连接有支撑杆，所述溅镀仓的底部设有与所述支撑杆匹配的通孔，所述支撑杆可滑动连接在所述通孔内，所述支撑杆的底端连接有驱动机构，所述驱动机构驱动所述支撑杆沿所述通孔滑动，所述支撑杆带动所述安装板和所述阴极电极进行升降，从而调节溅镀空间的大小，使所述溅镀机可适应不同大小和不同需求工件，增强适用性。