[实用新型]一种用于晶体生长的冷却装置有效
| 申请号： | 202120502116.0 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN214458449U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 张虎;张开端;史建伟;阴法波;张维刚;马振华 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 张伟朴 |
| 地址： | 250118 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于晶体生长的冷却装置，该装置包括：第一石英管，第一石英管内部形成用于晶体生长的腔室；第二石英管，第二石英管套接在第一石英管的外侧，第二石英管由内向外依次包括石英管内层、夹层和石英管外层；喷液板，喷液板设置在夹层内，石英管外层和喷液板之间设置有进液口，喷液板上开设有多个第一喷液口；石英管内层开设有与第一喷液口对应的多个第二喷液口；喷液板能够转动，使得第一喷液口和第二喷液口错开或至少部分重合。从进液口进入的液体通过第一喷液口和第二喷液口后形成小液滴喷射到第一石英管上，提高了降温温场的均匀性，且可实现对第一石英管喷液量的调节，实现晶体生长过程中提供不同的降温温场。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶体生长 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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