[实用新型]一种用于晶圆探针测量的测量仪有效
| 申请号： | 202120517114.9 | 申请日： | 2021-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN215415115U | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 付锦辉 | 申请（专利权）人： | 无锡紫电半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 朱晓林 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区新泰路8号江苏国际技术转移中*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于晶圆探针测量的测量仪，其可实现探针卡精确测量，便于准确把控探针卡的质量，其包括安装架、影像测量仪、晶圆放置区，晶圆放置区用于放置晶圆，影像测量仪用于采集晶圆的图像信息，其还包括显微镜测量仪、固定于安装架的连接板、用于放置探针的探针放置区，影像测量仪、显微镜测量仪并排固定于连接板，显微镜测量仪的镜头朝下与探针放置区对应，显微镜测量仪用于采集探针的放大图像信息，影像测量仪与控制器电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 探针 测量 测量仪 | ||
【主权项】：
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