[实用新型]一种内置式PBN烘烤炉膛隔热装置有效
| 申请号： | 202120532405.5 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN215887318U | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 孟国浩;罗爱斌;陈章水 | 申请（专利权）人： | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;F27D1/00 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 李琼芳;肖小龙 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体晶体制造领域，具体公开了一种内置式PBN烘烤炉膛隔热装置，所述隔热装置设置在炉膛出口处，所述隔热装置为耐高温、耐腐蚀、结构稳定性高的材料制成的两端密闭的管状结构，所述管状结构的外管壁与炉膛出口处内壁贴合设置，所述管状结构的两端尺寸不大于炉膛出口处尺寸，在所述管状结构的内腔填充纤维隔热介质，所述管状结构的内腔设有贯穿两端的通孔，管状结构的外端设有提手。本实用新型隔热装置有效减少PBN烘烤过程炉膛内头、尾部温度差异，满足炉膛内不同位置PBN坩埚对温度的要求，提高使用该PBN坩埚生产晶体生长成功率，提高晶体生长的生产效率；同时也提高PBN烘烤过程热量的利用率，降低烘烤炉设备的用电功耗，节约用电成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 内置 pbn 烘烤 炉膛 隔热 装置 | ||
【主权项】：
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