[实用新型]一种气相外延炉用过滤装置有效
| 申请号： | 202120532600.8 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN214634841U | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 刘伟;付强;吴健东 | 申请（专利权）人： | 常州森美特微电子有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/10 | 分类号： | B01D46/10;B01D46/42;C30B25/14 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 尚欣 |
| 地址： | 213000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种气相外延炉用过滤装置，包括过滤体，所述的过滤体包括上过滤体和下过滤体，所述的固定装置包括上固定板和下固定板，所述的上过滤体和下过滤体之间设有密封垫片和过滤网，所述的下过滤体的一侧设有出气口，所述的下过滤体内设有挡板，所述的下过滤体的底部设有凸块，所述的凸块远离下过滤体的一端设有挡圈，所述的上过滤体远离下过滤体的一端设有进气口。本实用新型的有益效果为：本实用新型采用密封垫片和过滤网安装在上过滤体和下过滤体之间，便于更换和清理过滤网，出气口的一侧设有挡板可以防止从过滤网上掉落的灰尘，防止灰尘进入出气口，同时设有挡圈可以阻挡底部灰尘随气进入出气口，保证进入气相外延炉内的空气质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 过滤 装置 | ||
【主权项】：
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