[实用新型]一种液态镓在真空状态下的凝固装置有效
| 申请号： | 202120532681.1 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN215887315U | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 罗小龙;周铁军;王金灵;易明辉 | 申请（专利权）人： | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/42 | 分类号： | C30B29/42;C30B28/06 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 李琼芳;肖小龙 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及多晶合成领域，具体公开一种液态镓在真空状态下的凝固装置，用于放置封管，封管包括石英帽、石英管，石英帽和石英管焊接固定，焊接处形成焊道，石英管内有氮化硼舟，氮化硼舟置于封管内远离焊道端，凝固装置为用于容纳封管的凝固管，凝固管包括环形管状主体和尾部冷却装置，环形管状主体两端开口，冷却套固定在环形管状主体一端，环形管状主体另一端为开口处，焊道靠近环形管状主体的开口处放置，氮化硼舟置于尾部冷却装置内。在进行水平梯度凝固法合成的GaAs多晶时，使用本实用新型的液态镓在真空状态下的凝固装置，焊管完毕后将封管放进凝固装置中，使温度冷却到金属镓熔点以下，使液体镓凝固，从而避免撒镓，同时提高入炉效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液态 真空 状态 凝固 装置 | ||
【主权项】：
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